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2-5 wafer
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Wafer

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Entfernung von Fotolack:Die herkömmlichen chemischen Nassmethode der Fotolack auf der Oberfläche des Wafers entfernt und hat die Nachteile, dass die Reaktion nicht genau kontrolliert werden, die Reinigung nicht gründlich ist und Verunreinigungen leicht eingeführt werden. Die Plasmabehandlung als trockene Methode hat eine hohe Kontrollierbarkeit und gute Konsistenz und kann nicht nur ganz entfernen der Fotolack und anderen organischen Substanzen, aber auch aktivieren und aufrauen der Wafer-Oberfläche und verbessern die Benetzbarkeit der Wafer-Oberfläche.


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