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Optische Linse
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Infrarot-Filter:Infrarot-Filter werden in der Regel durch Ultraschall-Reiniger und zentrifugale Reiniger vor der Beschichtung gereinigt. Jedoch wenn ultraclean Substratoberflächen einzuholen sind, Plasmareinigung muss organische Rückstände zu entfernen, die für das bloße Auge nicht sichtbar sind. Das Material kann auch verbessern die Beschichtungsqualität und Ertrag mit dem Plasma zu aktivieren und Ätzen die Substratoberfläche.

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